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[多选] （）专指薄膜形成的过程中，并不消耗晶片或底材的材质。

A . 薄膜成长
B . 蒸发
C . 薄膜沉积
D . 溅射
E . 以上都正确

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集成电路制造工艺员（三级）题库

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