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[多选] 净化室里废气收集管系统分为两类，分别是（）。

A . 一般排气系统
B . 特殊排气系统
C . 制程排气系统
D . 专用排气系统
E . 排气排水系统

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集成电路制造工艺员（三级）题库

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