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[多选] 按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

A . 真空蒸发
B . 离子束蒸发
C . 电子束蒸发
D . 粒子束蒸发
E . 常压蒸发

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集成电路制造工艺员（三级）题库

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