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[多选] 湿法蚀刻具有以下哪些缺点()。

A . 化学药品处理时人员会遭遇的安全问题
B . 反应溶液及去离子水需花费较高成本
C . 光刻胶会产生附着性问题
D . 蚀刻不均匀

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