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集成电路制造工艺员题库 / 集成电路制造工艺员(三级)题库
[单选] 在刻蚀()过程中假如我们在CF
5
的等离子体内加入适量的氧气,能够提高刻蚀的速率。
A . 铜
B . 铝
C . 金
D . 二氧化硅
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集成电路制造工艺员(三级)题库
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