A . 投影式同接触式相比,掩模版的利用率比较高B . 接触式的分辨率优于接近式C . 接近式的分辨率受到衍射的影响D . 投影式曝光系统中不会产生衍射现象E . 投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
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