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[多选] 在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。

A . CA光刻胶对深紫外光吸收小
B . CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化
C . CA光刻胶在显影液中的可溶性强
D . 有较高的光敏度
E . 有较高的对比度

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