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集成电路制造工艺员题库 / 集成电路制造工艺员（三级）题库

[多选] 半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。

A . 氧化
B . 改变导电类型
C . 涂层
D . 改变材料性质
E . 镀膜

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集成电路制造工艺员（三级）题库

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