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集成电路制造工艺员题库 / 集成电路制造工艺员（三级）题库

[多选] 晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。

A . 除去光刻胶中剩余的溶剂
B . 增强光刻胶对晶片表面的附着力
C . 提高光刻胶的抗刻蚀能力
D . 有利于以后的去胶工序
E . 减少光刻胶的缺陷

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集成电路制造工艺员（三级）题库

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