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机械工程题库 / 仪器制造技术题库

[单选] 光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。

A . 电子束曝光技术
B . 离子束曝光技术
C . X射线曝光技术

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仪器制造技术题库

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