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[多选] 二氧化硅膜的质量要求有（）。

A . 薄膜表面无斑点
B . 薄膜中的带电离子含量符合要求
C . 薄膜表面无针孔
D . 薄膜的厚度达到规定指标
E . 薄膜厚度均匀，结构致密

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集成电路制造工艺员（三级）题库

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