微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System）是一种先进的制造技术平台，下列哪种技术不属于在MEMS器件制作中的研究成果。A.硅微机械加工B.高频超声C.微立体光刻成型D.LIGA工艺 - 查题网

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高等继续教育 / 先进制造技术

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题型描述: 单选题

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System）是一种先进的制造技术平台，下列哪种技术不属于在MEMS器件制作中的研究成果。

A.硅微机械加工
B.高频超声
C.微立体光刻成型
D.LIGA工艺

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